干式真空泵专业控制器

              ?前国产?式真空泵组?部分采?PLC控制?案，没有形成标准的控制器产品。 ?沙昌佳?动化研发?产出可靠、耐?的?式真空泵组专?控制器，成功应?于国内多家?式真空泵组产品， 共同实现关键设备的?品质国产化。

多参数检测    排?压?、真空度、流 量、温度等

多回路控制    前置泵/螺杆泵/罗茨 泵的启停、变频器的 运?、阀?的调节等

多模式选择    标准化的机组根据? 艺要求选择相应的控 制标准和控制程序

不间断运?    特别是半导体?业对 真空泵组运?有严苛 的要求，控制器预设                           多参数保护、预警、及 提前?涉以实现机组 不间断运?

定制化服务    根据?艺参数要求匹 配不同的内部结构和 专?的软件版本

基本参数 

环境：机箱内温度30~70℃ 

电源：三相220V或三相380V 

输?：14+8路开关量信号输? 

输出：21+5路?源开关量信号输出，误差不?于0.5% 

通讯：1路RS232/485，1路RS485，2路?操器，1路RJ45，1路CAN；1路4G/5G

功能 

● 模拟量、开关量采集功能，对机组运?状态实时的监测，如氮?密封压?、排?压?、泵体温度、排?温度等，数据存储1年以上 

● 控制螺杆泵/罗茨泵联动启停，控制排??温度、泵腔吹扫控制、氮?流量调节 

● 中英?切换显? 

● 电机温度保护，泵体温度保护，排?压?保护，及时报警或停机，维护保养时间提醒 

● 设定权限管理，软件授权下载与硬件防写?，不同的应?软件包可切换

典型应用

V-J基本型：应?于太阳能光伏、真空室排?、真空?燥、冶?、化?、医药等领域 

V-Y严苛型：应?于半导体（刻蚀、PVD等）、镀膜、等离??艺等 

V-D定制型：根据客?具体需求定制化开发产品，满?产品和?艺需求